[发明专利]采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法、谐振器及压力感测系统

权利要求书

1.一种采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：调节二氧化碳激光的光斑位置，将所述二氧化碳激光的光斑定位于一石英毛细管的第一预定位上；

S200：调节所述二氧化碳激光的光斑功率，使所述二氧化碳激光的光斑将所述石英毛细管的第一预定位加热软化；

S300：带动所述石英毛细管的两端分别沿轴向相背平移，以将所述石英毛细管的第一预定位拉细，使之形成一细管结构后，关闭所述二氧化碳激光；

S400：向所述石英毛细管内充入气体，同时调节所述二氧化碳激光的光斑位置，将所述二氧化碳激光的光斑定位于所述细管结构的第二预定位上；

S500：重新开启所述二氧化碳激光，以将所述细管结构的第二预定位加热软化，同时令所述第二预定位处的气体受热膨胀，进而使所述细管结构在第二预定位处形成一回音壁模式微泡腔后，关闭所述二氧化碳激光；

S600：调节所述二氧化碳激光的光斑位置，将所述二氧化碳激光的光斑定位于所述细管结构的第三预定点上，所述第三预定点位于所述回音壁模式微泡腔其中一侧，同时将所述石英毛细管内的气体释放；

S700：重新开启所述二氧化碳激光，以将所述细管结构的第三预定点加热软化；

S800：带动所述石英毛细管的两端分别沿轴向相背平移，以将所述细管结构的第三预定点拉断，使拉断后的细管结构在所述回音壁模式微泡腔上形成一接触探针；

S900：将一波导与所述回音壁模式微泡腔的赤道面圆周相耦合。

2.根据权利要求1所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S100之前，还包括如下步骤：

校正所述二氧化碳激光的聚焦程度，使所述二氧化碳激光的光斑能够均匀地覆盖所述石英毛细管同一位置处的管壁圆周。

3.根据权利要求1所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S100之前，还包括如下步骤：

将所述石英毛细管的两端分别设置在第一三维位移平台和第二三维位移平台上。

4.根据权利要求3所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S100、步骤S400和步骤S600中，所述石英毛细管的两端通过所述第一三维位移平台和第二三维移动平台的带动同向平移，以相对于所述二氧化碳激光的光斑位置移动，进而调节所述二氧化碳激光的光斑位置在所述石英毛细管上的作用点。

5.根据权利要求3所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S300和步骤S800中通过所述第一三维位移平台和第二三维移动平台的带动沿轴向相背移动，以对所述石英毛细管的两端形成沿轴向相背的拉力。

6.根据权利要求1所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S300中，所述石英毛细管在所述细管结构的两侧各形成有一毛细管椎部。

7.根据权利要求1所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S400之前，还包括如下步骤：

将所述石英毛细管的一端面接入气泵。

8.根据权利要求1所述的采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，其特征在于，在步骤S500中，气体膨胀使得所述回音壁模式微泡腔的腔壁从赤道面向两侧逐渐变薄，以形成环绕在所述回音壁模式微泡腔的赤道面圆周上的一敏感区域，以及位于所述回音壁模式微泡腔两侧的非敏区域，所述敏感区域受力可形变。

9.一种回音壁模式微泡探针谐振器，其特征在于，采用权利要求1-8中任一所述的方法制备。

10.一种压力感测系统，其特征在于，包括权利要求9所述的回音壁模式微泡探针谐振器。