[发明专利]一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统有效
| 申请号： | 202210399479.5 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114753000B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 徐俊;吴彩庭;刘欣;孔倩茵;胡承 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈椅行 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统，其中，该装置包括：装载室，所述装载室内具有与外界隔绝的装载腔；托盘，安装在所述装载腔内；片盒，设置在所述托盘上，用于存放所述衬底；所述装置还包括：顶杆，设置在所述装载室外；磁力件，固定在所述顶杆上，且与所述装载室内的所述托盘磁性相吸；升降机构，安装在所述装载室外，与所述顶杆连接；该装置实现了对装载室内托盘的无接触式驱动，从而保留了装载室的完整性，提高了装载室的密封度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 衬底 装载 装置 上下 系统 | ||
【主权项】：
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