[发明专利]一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统

权利要求书

1.一种外延炉的衬底装载装置，用于存放反应前和反应后的衬底，所述装置包括：

装载室（1），所述装载室（1）内具有与外界隔绝的装载腔；

托盘（2），安装在所述装载腔内；

片盒（3），设置在所述托盘（2）上，用于存放所述衬底；

其特征在于，所述装置还包括：

顶杆（4），设置在所述装载室（1）外；

磁力件（5），固定在所述顶杆（4）上，且与所述装载室（1）内的所述托盘（2）磁性相吸；

升降机构（6），安装在所述装载室（1）外，与所述顶杆（4）连接；

所述顶杆（4）在所述升降机构（6）驱动下进行升降运动以调节所述装载腔内所述托盘（2）的高度。

2.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）包括第一强力磁铁（51）或电磁铁（52），所述托盘（2）上具有与所述磁力件（5）相吸的第二强力磁铁（21）。

3.根据权利要求2所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，当所述磁力件（5）包括第一强力磁铁（51）时，所述装置还包括：

驱动气缸（41），所述驱动气缸（41）安装在所述顶杆（4）上，用于驱动所述第一强力磁铁（51）靠近或远离所述装载室（1）外壁。

4.根据权利要求2所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述装置还包括：

阻尼器（11），所述阻尼器（11）设置在所述装载室（1）内并位于所述托盘（2）下方。

5.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述装载室（1）内设有限定所述托盘（2）位移方向的导向槽（12），所述导向槽（12）由自润滑性材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述片盒（3）的侧壁设有与所述导向槽（12）滑动连接的第二滑块（31）。

7.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）上安装有滑轮（53），所述滑轮（53）与所述装载室（1）外壁滚动连接。

8.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）为两个以上。

9.根据权利要求1所述的一种外延炉的衬底装载装置，其特征在于，所述磁力件（5）为U型状，且与所述装载室（1）外壁契合。

10.一种外延炉的上下料系统，所述系统包括：

装载室（1），所述装载室（1）内具有与外界隔绝的装载腔；

传输室（7），与所述装载腔连通，所述传输室（7）内设有用于进行上下料操作的机械手（71）；

托盘（2），安装在所述装载腔内；

片盒（3），设置在所述托盘（2）上，用于存放衬底；

其特征在于，所述系统还包括：

顶杆（4），设置在所述装载室（1）外；

磁力件（5），固定在所述顶杆（4）上，且与所述装载室（1）内的所述托盘（2）磁性相吸；

升降机构（6），安装在所述装载室（1）外，与所述顶杆（4）连接；

控制器，与所述机械手（71）和升降机构（6）电性连接；

所述顶杆（4）在所述升降机构（6）驱动下进行升降运动以调节所述装载腔内所述托盘（2）的高度；

所述控制器用于根据外延炉的加工进度控制所述升降机构（6）运行以改变所述托盘（2）上的所述片盒（3）的高度，并用于根据所述外延炉的加工进度控制所述机械手（71）伸入所述片盒（3）中抓取或释放所述衬底。