[发明专利]极紫外光产生的方法和激光等离子体极紫外光源的装置在审
| 申请号： | 202210389706.6 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114675509A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王新兵;陈泽功;左都罗;马修泉;陆陪祥 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院;华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 姚莉娟 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，极紫外光产生的方法包括步骤：液滴驱动处理、信号检测处理以及位置处理。将激光脉冲信号转化为驱动信号，扰动液体，产生液滴，检测所述液滴的极紫外辐射强度，通过计算获取所述激光脉冲的位置及所述液滴的位置信息，调节所述激光脉冲的位置，使所述激光脉冲聚焦于所述液滴上，产生极紫外光。采用本发明所述的极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，可以不需要增加同步控制装置，在高频下实现激光脉冲与液滴的精确同步，而且通过调节激光脉冲的位置，实现精确打靶，极大提高了等离子体极紫外光源的转换效率，其次所述方法和装置都简便易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 方法 激光 等离子体 紫外 光源 装置 | ||
【主权项】：
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