[发明专利]极紫外光产生的方法和激光等离子体极紫外光源的装置

权利要求书

1.一种极紫外光产生的方法，其特征在于，包括步骤：

液滴驱动处理：将激光脉冲信号转化为驱动信号，扰动液体，产生液滴；

信号检测处理：检测所述液滴的极紫外辐射强度；

位置处理：通过计算获取所述激光脉冲的位置及所述液滴的位置信息，调节所述激光脉冲的位置，使所述激光脉冲聚焦于所述液滴上，产生极紫外光。

2.根据权利要求1所述的紫外光产生的方法，其特征在于，在所述位置处理中，通过所述激光脉冲在三维方向上平移，使所述激光脉冲聚焦于所述液滴上。

3.一种激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，包括：

液滴驱动组件，用于将激光脉冲信号转化为驱动信号，扰动液体，产生液滴；

信号检测器，用于检测所述液滴的极紫外辐射强度；

激光器，用于产生激光脉冲及激光脉冲信号；以及

位置处理组件，连接所述液滴驱动组件以及所述信号检测器，用于接收所述电信号并通过计算获取所述激光脉冲的位置及所述液滴的位置信息，调节所述激光器的位置，使激光脉冲聚焦于液滴上，产生极紫外光。

4.根据权利要求3所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述信号检测器包括极紫外能量计，所述极紫外能量计用于检测所述液滴的极紫外辐射强度。

5.根据权利要求3所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述液滴驱动组件包括压电陶瓷驱动器、压电陶瓷以及液滴靶发生器，所述压电陶瓷的一端连接所述压电陶瓷驱动器，另一端连接所述液滴靶发生器，所述压电陶瓷驱动器连接于所述激光器。

6.根据权利要求5所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述液滴驱动组件还包括温度控制模块，所述温度控制模块连接于所述压电陶瓷并用于调节所述压电陶瓷温度。

7.根据权利要求3所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述位置处理组件包括光学透镜组、三维移动平移台以及位置控制模块，所述激光器及所述光学透镜组同轴安装于所述三维移动平移台上，所述位置控制模块连接于所述三维移动平移台及所述信号检测器。

8.根据权利要求7所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述光学透镜组包括预设数量的透镜。

9.根据权利要求3所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述激光器包括主动调Q激光器和被动调Q激光器中的任意一种。

10.根据权利要求3所述的激光等离子体极紫外光源的装置，其特征在于，所述激光等离子体极紫外光源的装置还包括真空靶室，所述真空靶室用于为产生极紫外光提供真空环境。