[发明专利]一种采用音圈电机的载台系统有效
| 申请号： | 202210318968.3 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114884301B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H02K33/18 | 分类号： | H02K33/18 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 213166 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种采用音圈电机的载台系统，属于高精机台领域，音圈电机的后封板、两个侧封板和前封板侧边首尾连接构成矩形空间以将定子和动子环绕设置；后封板或前封板用于连接至待消反力体或其底座上，电机定子安装件连接至固定的机架上；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；消反力组件采用前述的音圈电机，用于对晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消；通过本申请的方案，一方面能提供微调功能，其次也是主要的为载台或待消反力体提供消反力，以降低震动，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 电机 系统 | ||
【主权项】：
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