[发明专利]一种采用音圈电机的载台系统

说明书

本发明提供了一种采用音圈电机的载台系统，属于高精机台领域，音圈电机的后封板、两个侧封板和前封板侧边首尾连接构成矩形空间以将定子和动子环绕设置；后封板或前封板用于连接至待消反力体或其底座上，电机定子安装件连接至固定的机架上；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；消反力组件采用前述的音圈电机，用于对晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消；通过本申请的方案，一方面能提供微调功能，其次也是主要的为载台或待消反力体提供消反力，以降低震动，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

技术领域

本发明属于高精机台领域，涉及精密驱控，具体公开了一种采用音圈电机的载台系统。

背景技术

在检测、加工技术中，一般需要一个稳定的工作台，而工作台一般通过机架或地脚支撑于底面上。而工作台，如载台一般要进行运动，如平面的横向、纵向运动、绕轴转动等，这势必会引起震动，这是系统或工作台主要的误差来源之一，需要消除。因此，亟需开发一种能够消除工作台因必要的运动产生的震动的方案。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种采用音圈电机的载台系统，其能解决上述问题。

一种音圈电机，包括定子、动子、后封板、两个侧封板、前封板和电机定子安装件，

所述定子呈板状，在所述定子的一侧开设侧板槽；所述动子上下活动的与所述定子匹配设置；

所述后封板、两个侧封板和前封板侧边首尾连接构成矩形空间，以将所述定子和动子环绕设置；所述动子的一个端面固定至所述后封板和/或前封板的内端面上；

其中，一个侧封板在所述侧板槽内设置并连接后封板和前封板，所述电机定子安装件从所述侧封板外侧连接至开设侧板槽的定子的上下两端；

所述后封板或前封板用于连接待消反力体或其底座上，所述电机定子安装件连接至固定的机架上。

通过所述音圈电机消除待消反力体引起震动的力及力矩。

本申请还提供了一种载台系统，载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；

两个侧边梁相对的纵向设置在所述机架上；

所述X轴横梁横向的设置在两个所述侧边梁之间；

所述晶圆载台和摩擦传动机构相对的设置在所述X轴横梁两侧，且所述摩擦传动机构在X轴向与所述晶圆载台同步运行；

所述X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着所述X轴横梁横向移动；

两个所述Y轴驱动组设置在侧边梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着所述Y轴驱动组纵向移动；

所述消反力组件采用前述的音圈电机；所述消反力组件中的两个X轴消反力组件相对的设置在所述机架的纵向两端，所述消反力组件中的两个Y轴消反力组件相对的设置在两个所述侧边梁外侧，用于对所述晶圆载台和摩擦传动机构横向力和相对于质心扭矩的抵消。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：通过本发明的音圈电机和载台系统，一方面能提供微调功能，其次也是主要的为载台或待消反力体提供消反力，以降低震动，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。

附图说明

图1为音圈电机一个实施例的装配示意图；

图2为音圈电机一个实施例的另一视角的示意图；

图3为音圈电机一个实施例的分解示意图；