[发明专利]一种样品台及测试方法在审

专利信息
申请号: 202210310191.6 申请日: 2022-03-28
公开(公告)号: CN114660101A 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 张吉东;孟圣斐;宋新月 申请(专利权)人: 苏州锂影科技有限公司
主分类号: G01N23/20 分类号: G01N23/20;G01N23/20008
代理公司: 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 代理人: 刘璐璐
地址: 215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及晶体检测领域,公开一种样品台及采用样品台进行晶体均一性测试的测试方法,样品台包括:直线滑动装置和旋转装置,直线滑动装置包括能够沿第一直线方向滑动的滑动件,旋转装置设置于滑动件上,旋转装置能够绕第二直线转动,且第一直线与第二直线二者相互垂直。与现有设置有X向滑台和Y向滑台的样品台相比,本发明提供的样品台及测试方法待测晶体位置变换过程中移动更小,本发明提供的样品台及测试方法能够在小移动的情况下完成晶体均一性测试。
搜索关键词: 一种 样品 测试 方法
【主权项】:
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