[发明专利]一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法有效
| 申请号： | 202210285721.6 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114381796B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 孙彬;徐志群;付明全;王迎春;马伟萍 | 申请（专利权）人： | 广东高景太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;B01D46/60;B01D46/72;F04B49/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 侯丽燕 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法，该系统包括多台单晶炉、主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统，多个第一真空管路并联汇合至与主抽空系统的真空泵管道连通，且每个第一真空管路上均设有一个对应每一台单晶炉的一级主球阀，多个第二真空管路并联汇合至与第一集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀，多个第三真空管路并联汇合至与第二集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀。本发明能够在炉台处于高温真空的继续生产状况下同时进行单独维修和清理，真空泵的利用率高，使用效果好，维护方便，过滤效果好，清理更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 不停 维护 真空泵 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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