[发明专利]一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统及其方法

权利要求书

1.一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统的控制方法，其特征在于，该方法应用于一种节能且可不停炉维护真空泵的控制系统进行控制，该系统包括：多台单晶炉、主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统，每台所述单晶炉的第一出口均连接有一个第一真空管路，多个所述第一真空管路并联汇合至与所述主抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第一真空管路上均设有一个对应每一台所述单晶炉的一级主球阀，以控制所述主抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

每台所述单晶炉的第二出口均连接有一个第二真空管路，多个所述第二真空管路并联汇合至与所述第一集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第二真空管路上均设有一个第一集中抽空球阀，以控制所述第一集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

每台所述单晶炉第三出口均连接有一个第三真空管路，多个所述第三真空管路并联汇合至与所述第二集中抽空系统的真空泵管道连通，且每个所述第三真空管路上均设有一个第二集中抽空球阀，以控制所述第二集中抽空系统通过真空泵管道抽取所述单晶炉炉筒内的气体；

所述主抽空系统包括N组主抽空装置，每一组所述主抽空装置均包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵，其中，N≥4，所述单晶炉的数量为M个，M≥11；

该控制方法包括：

在操作前将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上；

主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统切换式地处于工作状态，当控制系统工作时，由主抽空系统的主真空泵开始工作，通过真空泵管道抽空单晶炉内空气，检测在达到所需的真空度时，主真空泵停止工作，单晶炉处于高温负压状态，所有单晶炉的负压由N组主抽空装置的主真空泵提供，第一集中抽空系统和第二集中抽空系统处于关闭状态；

当需要单独清洗或维修主过滤罐或主真空泵时，关闭主抽空系统中与主过滤罐或主真空泵对应的二级主球阀，即可进行单独清洗或维修；

当需要清理单晶炉中的氧化物时，关闭第一真空管路的一级主球阀和主抽空系统的二级主球阀，由于清洁单晶炉后炉内压力为常压状态，这时启用第二集中抽空系统的第二集中抽真空泵，当该单晶炉内压力达到13Torr时，切换到主真空泵；

若其中一台单晶炉因氧化物堆积过多而导致炉压上涨时，利用第二集中抽真空泵的负压瞬间将氧化物清理出管道。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

将主抽空系统、第一集中抽空系统、第二集中抽空系统的真空泵管道分别接到M台单晶炉上，具体包括：设置有N组主抽空装置，通过M个第一真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至主抽空系统的真空泵管道，将连通于M台单晶炉的真空泵管道分为N个分流管道，每个分流管道依次连通于每组主抽空装置的二级主球阀、主过滤罐、主真空泵；通过M个第二真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第一集中抽空系统的真空泵管道，通过M个第三真空管路将M台单晶炉并联汇合连通至第二集中抽空系统的真空泵管道。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

待达到所需的真空度后，主真空泵停止工作，检测是否有其他球阀打开，如果有，关闭相应管路的球阀；如果无，则通过真空压力传感器检测真空泵管道是否为常压；如果不是常压，打开自动放气阀，并重新检测，直至达到常压状态；

然后，关闭自动放气阀，主真空泵开始工作，对应的相应要工作的球阀打开，开始工作，检测在规定的时间内真空度能否达到规定要求，如是，关闭相应阀门，关闭主真空泵，结束，否则放气至炉内压力到常压，重新回到检测真空泵管道内是否为常压的步骤，直至达到规定要求。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述第一集中抽空系统包括沿着气流方向依次设置在真空泵管道的第一集中抽过滤罐、第一集中抽真空泵，所述第一集中抽过滤罐连接于多台所述单晶炉和所述第一集中抽真空泵之间，所述第一集中抽真空泵、第一集中抽过滤罐的数量为1个。