[发明专利]α-GeTe二维材料及其PVD制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210278701.6 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114725187A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 段曦东;李威;吴瑞霞 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/24;H01L29/78;C23C14/06;C23C14/22 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 盛武生 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明属于二维材料制备领域，具体公开了一种α‑GeTe二维材料的PVD制备方法，将GeTe原料在600‑700℃下加热挥发，并将挥发的原料在含氢气载气、340‑380℃的温度下物理气相沉积在无悬挂键的基底表面，制得α‑GeTe二维材料；所述的含氢气载气为氢气和保护性气氛的混合气，其中，氢气的流量为1‑10sccm，保护性气氛的流量为70～90sccm。本发明还公开了所述的制备方法制得的材料和应用。本发明技术方案可以二维方式延伸原子级薄的α‑GeTe 2D金属纳米片；首次实现原子级厚度α‑GeTe纳米片的可控制备。 | ||
| 搜索关键词： | gete 二维 材料 及其 pvd 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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