[发明专利]体声波谐振装置及其形成方法有效
| 申请号： | 202210274626.6 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114362712B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 杨新宇;邹雅丽;王斌;李军涛 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞;徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
一种体声波谐振装置及其形成方法，其中装置包括：第一层，第一层包括第一侧及相对的第二侧，第一层包括压电部以及位于压电部水平方向外侧的非压电部，非压电部的材料包括非压电性材料；第一电极层，位于第一侧，覆盖压电部及部分非压电部；第二层，位于第一侧，第一电极层位于第二层与第一层之间，且嵌入第二层；第二电极层，位于第二侧，覆盖压电部及部分非压电部；以及空腔，空腔位于第二层与第一层之间，嵌入第二层，第一电极层的至少一端位于空腔内。通过在所述压电部外侧设置所述非压电部，以衰减谐振区产生的横向传播的声波，抑制寄生边缘模态，提升Z |
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| 搜索关键词： | 声波 谐振 装置 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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