[发明专利]一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台在审
| 申请号： | 202210265340.1 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN115125502A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 李琳;廖昭胜;韦尚潮;廖昭亮 | 申请（专利权）人： | 安徽外延科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海恩凡知识产权代理有限公司 31459 | 代理人： | 汪贺玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市中国（安徽）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，包括真空腔体，真空腔体的一侧设置激光光纤，真空腔体与激光光纤之间设置三维线性位移台，三维线性位移台的内侧延伸至真空腔体内，三维线性位移台的内侧端设置旋转运动模块，旋转运动模块上设置样品支撑部，所述的样品支撑部供样品放置，三维线性位移台上位于激光光纤与样品支撑部之间设置透镜，所述的激光光纤相对透镜间距可调，三维线性位移台位于激光光纤旁侧设置红外测温仪，所述的红外测温仪的前端指向样品支撑部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 加热 区域 可调 红外 激光 样品 | ||
【主权项】：
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