[发明专利]一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台

权利要求书

1.一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，包括真空腔体(A)，真空腔体(A)的一侧设置激光光纤(2)，其特征在于：真空腔体(A)与激光光纤(2)之间设置三维线性位移台(3)，三维线性位移台(3)的内侧延伸至真空腔体(A)内，三维线性位移台(3)的内侧端设置旋转运动模块(5)，旋转运动模块(5)上设置样品支撑部(51)，所述的样品支撑部(51)供样品(B)放置，三维线性位移台(3)上位于激光光纤(2)与样品支撑部(51)之间设置透镜(1)，所述的激光光纤(2)相对透镜(1)间距可调，三维线性位移台(3)位于激光光纤(2)旁侧设置红外测温仪(4)，所述的红外测温仪(4)的前端指向样品支撑部(51)。

2.根据权利要求1所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的三维线性位移台(3)包括支撑平台(31)，支撑平台(31)外侧设置有外光路筒(11)，所述的透镜(1)设置于外光路筒(11)的外端，所述的激光光纤(2)设置于外光路筒(11)的外侧的延长线上，支撑平台(31)上设置X向位移驱动机构(32)、X向位移驱动机构(32)上设置Y向位移驱动机构(33)，Y向位移驱动机构(33)上立置有Z向位移驱动机构(34)。

3.根据权利要求1或2所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的激光光纤(2)的红外激光入口端(21)位于红外测温仪(4)的侧方，红外激光入口端(21)上设置激光光路调节器(22)。

4.根据权利要求3所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的外光路筒(11)的外侧设置光学二轴调整架(12)，所述的红外测温仪(4)、激光光纤(2)分别设置于光学二轴调整架(12)上，所述的红外测温仪(4)相对透镜(1)间距可调。

5.根据权利要求1或2所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的旋转运动模块(5)为两轴旋转运动模块，所述的两轴旋转运动模块包括设置于三维线性位移台(3)的内侧端的旋转开口架(52)，旋转开口架(52)的开口朝下布置，旋转开口架(52)的下端铰接有旋转筒框架(53)，旋转开口架(52)上设置驱动旋转筒框架(53)沿其径向可自由转动的第一驱动单元，所述的样品支撑部(51)设置于旋转筒框架(53)的底部；旋转筒框架(53)的侧面设置旋转支撑架(54)，旋转支撑架(54)上设置驱动旋转筒框架(53)沿其轴向可自由转动的第二驱动单元。

6.根据权利要求5所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的旋转支撑架(54)铰接于旋转开口架(52)的下端，旋转支撑架(54)与旋转筒框架(53)的上部连接，所述的第一驱动单元带动所述的旋转支撑架(54)与旋转筒框架(53)同步转动。

7.根据权利要求6所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的第一驱动单元包括设置于旋转开口架(52)上部的真空步进电机(55)，旋转开口架(52)的侧面设置联动齿轮组减速器(56)，真空步进电机(55)的输出轴与联动齿轮组减速器(56)的输入轴连接，联动齿轮组减速器(56)的输出轴与旋转筒框架(53)的径向转轴连接，所述的真空步进电机(55)带动旋转筒框架(53)沿其径向自由转动。

8.根据权利要求7所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的第二驱动单元包括设置于旋转支撑架(54)上的样品自旋真空电机(57)，样品自旋真空电机(57)与旋转筒框架(53)的上部之间设置涡轮蜗杆机构(58)，所述的样品自旋真空电机(57)带动旋转筒框架(53)沿其轴向自由转动。

9.根据权利要求1或2所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的旋转运动模块(5)为单轴旋转运动模块，所述的单轴旋转运动模块驱动旋转筒框架(53)沿其轴向可自由转动。

10.根据权利要求4所述的一种多轴运动加热区域可调的红外激光加热样品台，其特征在于：所述的光学二轴调整架(12)包括依次布置的主调整台(12a)、主调整台(12a)的内侧设置分调整台(12b)，主调整台(12a)上沿其高度方向设置滑轨(12c)，所述的分调整台(12b)至于所述的滑轨(12c)中，所述的滑轨(12c)与分调整台(12b)之间设置紧锁单元；所述的红外测温仪(4)设置于所述的主调整台(12a)上，所述的透镜(1)、红外激光入口端(21)设置于分调整台(12b)上。