[发明专利]一种晶圆剪切力测试机在审
| 申请号： | 202210257341.1 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114839085A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 朱献悦;翁伊宁;朱峰 | 申请（专利权）人： | 科力芯（苏州）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/24 | 分类号： | G01N3/24;G01N3/02;G01N3/04 |
| 代理公司： | 重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙) 50279 | 代理人： | 易小艺 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子测试领域，具体涉及一种晶圆剪切力测试机，包括支撑组件、观察组件、夹持组件和测试组件，支撑组件的支撑架与底座固定连接，定位座滑动设置在底座上，滑动支撑件用于放置晶圆，然后带动晶圆一起移动到定位座上，通过观察组件对晶圆在测试过程中的变化进行拍照记录，夹持组件的左夹和右夹设置在定位座远离滑动支撑件的一侧，随着滑动支撑件的移动，带动晶圆接触左夹和右夹从而对晶圆进行三点限位，多个压紧板分别滑动设置在左夹、右夹和滑动支撑件的一侧，在晶圆限位完成后，启动压紧板上抬将晶圆夹紧以完成晶圆的固定，通过测试组件对晶圆的剪切力进行测试，使得晶圆的安装更加方便稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 测试 | ||
【主权项】：
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