[发明专利]一种晶圆剪切力测试机在审
| 申请号： | 202210257341.1 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114839085A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 朱献悦;翁伊宁;朱峰 | 申请（专利权）人： | 科力芯（苏州）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/24 | 分类号： | G01N3/24;G01N3/02;G01N3/04 |
| 代理公司： | 重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙) 50279 | 代理人： | 易小艺 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 测试 | ||
1.一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
包括支撑组件、观察组件、夹持组件和测试组件，所述支撑组件包括底座、定位座、支撑架和滑动支撑件，所述支撑架与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，所述定位座滑动设置在所述底座上，所述滑动支撑件滑动设置在所述定位座的一侧，所述观察组件设置在所述支撑架上，所述夹持组件包括左夹、右夹和多个压紧板，所述左夹和所述右夹设置在所述定位座远离所述滑动支撑件的一侧，多个所述压紧板分别滑动设置在所述左夹、所述右夹和所述滑动支撑件的一侧，所述测试组件设置在所述支撑架靠近所述观察组件的一侧。
2.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述支撑组件还包括防滑垫，所述防滑垫与所述底座固定连接，并位于所述底座底部。
3.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述滑动支撑件包括支撑座、滑动块和驱动器，所述滑动块与所述定位座滑动连接，所述支撑座固定设置在所述滑动块上，所述驱动器与所述滑动块连接。
4.如权利要求3所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述驱动器包括转动螺杆和控制电机，所述控制电机设置在所述底座上，所述转动螺杆与所述控制电机的输出端连接，并与所述滑动块螺纹连接。
5.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述观察组件包括观察器和支撑件，所述支撑件设置在所述支撑架上，所述观察器设置在所述支撑件上。
6.如权利要求5所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述支撑件包括观察座和转动头，所述转动头与所述支撑架转动连接，所述观察座设置在所述转动头上，所述观察器安装在所述观察座上。
7.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述左夹包括夹体、第一弹簧和支撑杆，所述支撑杆与所述定位座滑动连接，所述夹体与所述支撑杆转动连接，并靠近所述滑动支撑件，所述第一弹簧设置额在所述支撑杆和所述定位座之间。
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