[发明专利]具有两端自由边界条件的弹性微梁谐振器在审
申请号: | 202210244314.0 | 申请日: | 2022-03-11 |
公开(公告)号: | CN114614788A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 李普;卢熹;孙蓓蓓;张建润;张宁 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人: | 郝雅洁 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有两端自由边界条件的弹性微梁谐振器,包括衬底、第一固定支撑、第二固定支撑、支撑梁、自由‑自由梁和固定电极;支撑梁的数量以及支撑梁在自由‑自由梁上的支撑点的位置按以下规则确定:当自由‑自由梁被要求工作在自身第N阶固有频率时,N+1个结构相同的支撑梁垂直支撑在自由‑自由梁的同一侧,形成N+1个垂直支撑点,N+1个垂直支撑点为自由‑自由梁的第N阶振型函数的N+1个节点;支撑梁与自由‑自由梁的截面均为矩形且矩形的边长分别对应相等。本发明实现了梁两端自由支撑边界条件,有助在工程应用中有效地发挥其性能优势。 | ||
搜索关键词: | 具有 两端 自由 边界条件 弹性 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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