[发明专利]一种大面积AOI线扫相机机构有效
| 申请号： | 202210204329.4 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114268729B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 林邦羽;朱斌 | 申请（专利权）人： | 立川（深圳）智能科技设备有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/225 | 分类号： | H04N5/225;H04N5/232;G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙) 44850 | 代理人： | 王淼 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大面积AOI线扫相机机构，通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的转动来控制转轴的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追踪，因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 aoi 相机 机构 | ||
【主权项】：
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