[发明专利]一种大面积AOI线扫相机机构

说明书

本发明涉及一种大面积AOI线扫相机机构，通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的转动来控制转轴的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追踪，因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。

技术领域

本发明涉及晶圆制作辅助技术领域，具体为一种大面积AOI线扫相机机构。

背景技术

晶圆制作时，需要使用相机来扫描整个制作过程，以剔除制作过程中的废品，现有的相机一般设置在固定位置，不能进行位置调整，或者固定在具有三维移动的移动机构上，但是，一般晶圆制作时，X\Y\Z轴的移动以微移为主，但是由于晶圆制作时，要在晶圆制作好后在设置第二个相机对晶圆进行外观检测，才能真正的剔除废品的目的。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种大面积AOI线扫相机机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种大面积AOI线扫相机机构，包括：

镜头座，该镜头座的中间部具有安装CCD镜头的镜头安装孔；

在镜头座上面设置有滑轨面；

在镜头座右侧端面设置有与Z轴调节板固定的镜头座固定孔；

Z轴调节板，在所述Z轴调节板上端设置有用于与镜头座固定的Z轴固定孔，Z轴固定孔的上部设置有上端开放的Z轴限位孔；

在所述Z轴调节板的中间部设置有调节滑块，在调节滑块的下部设置有多组间距等同的Z轴调节孔；

在所述Z轴调节板的上部且位于Z轴调节板左侧设置有Z轴凸台面，所述Z轴固定孔设置在Z轴凸台面处，在Z轴凸台面的下部设置有Z轴限位面，在所述Z轴凸台面的上部设置有Y轴调节板的Z轴匹配面；

所述镜头座的右侧与Z轴凸台面对接，Z轴限位面用于定位镜头座与Z轴调节板的安装位置，对接好后由镜头座螺丝穿过Z轴固定孔固定在镜头座固定孔内；

所述Y轴调节板的下部具有一槽面，所述槽面与所述滑轨面匹配安装，且所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动以进行所述Y轴调节板的Y向位置调整；

所述Y轴调节板的中间部设置有镜头固定座；

所述Y轴调节板的右侧端面设置有X轴调节块固定孔以及Z轴调节板的Z轴位置限位孔，所述X轴调节块通过调节块螺丝将调节块固定在Y轴调节板上，Z轴匹配面与Y轴调节板的右侧端面匹配对接，然后用Z轴限位螺丝由Z轴限位孔穿入固定在Z轴位置限位孔内；

所述X轴调节块中间部具有U型凹槽，且U型凹槽两侧的调节臂上分别设置有调节X轴调节板X向位置的X轴调节孔；

X轴调节板，该X轴调节板的中间部具有十字形的相机座安装槽，相机座固定在相机安装槽中，在X轴调节板的上部设置有X轴调整块；

所述X轴调整块安装在U型凹槽内，通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔以限制X轴调整块在U型凹槽内的位置达到调整X轴调节板X向调节；

任意角度调节板，任意角度调节板左侧面板的中间部设置有Z轴调节槽，在Z轴调节槽的下部设置有任意角度调节板固定孔；所述调节滑块安装在Z轴调节槽内，并通过Z轴调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔固定在任意角度调节板固定孔内以达到Z轴调节板的Z向调节；

所述任意角度调节板的下部设置有任意角度调节块，该任意角度调节块内部设置有沿Y向的任意角度调节通孔，转轴穿入任意角度调节通孔内，通过转动转轴带动整体旋转以达到任意角度调节。