[发明专利]一种砷化镓单晶机械抛光设备在审
| 申请号： | 202210166849.0 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114346882A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 袁永 | 申请（专利权）人： | 苏州诺富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B7/17;B24B7/22;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/00;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了晶片打磨技术领域的一种砷化镓单晶机械抛光设备，包括支撑机构，其特征在于：还包括有打磨机构、转换机构和夹手；所述夹手滑动安装在支撑机构上端，所述打磨机构安装在支撑机构中间位置，所述转换机构固定安装在支撑机构上，且分别与打磨机构和夹手连通；保证晶片能够正常加工的前提下，最大程度的防止了晶片在加工过程中遭到夹持力的破坏几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓单晶 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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