[发明专利]一种砷化镓单晶机械抛光设备

权利要求书

1.一种砷化镓单晶机械抛光设备，包括支撑机构(1)，其特征在于：还包括有打磨机构(2)、转换机构(3)和夹手(4)；所述夹手(4)滑动安装在支撑机构(1)上端；所述打磨机构(2)安装在支撑机构(1)中间位置，且能够实时反馈工作时所受扭矩力大小至转换机构(3)上；所述转换机构(3)固定安装在支撑机构(1)上，且分别与打磨机构(2)和夹手(4)连通，所述转换机构(3)能够通过打磨机构(2)所受到的扭矩力大小动态调控夹手(4)的夹持力大小。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓单晶机械抛光设备，其特征在于：所述支撑机构(1)两侧上端均固定安装有滑轨(1-3)，两条所述滑轨(1-3)相对面上均对称安装有夹手(4)；

所述夹手(4)包括有滑杆一(4-1)，所述滑杆一(4-1)滑动安装在滑轨(1-3)上，所述滑杆一(4-1)滑动连接有滑杆二(4-3)，所述滑杆一(4-1)与滑杆二(4-3)间安装有弹簧(4-1-1)，所述滑杆一(4-1)靠近滑杆二(4-3)一端贯穿连接有螺纹销(4-2)；所述滑杆二(4-3)固定连接有夹紧机构(4-4)。

3.根据权利要求2所述的一种砷化镓单晶机械抛光设备，其特征在于：所述夹紧机构(4-4)内开设有弧形腔(4-4-1)，所述夹紧机构(4-4)外固定连接有第五管道口(4-4-2)，所述第五管道口(4-4-2)连通弧形腔(4-4-1)，上述夹紧机构(4-4)远离滑杆二(4-3)的外侧壁的一侧，等距密封滑动安装有多个压头(4-4-5)，所述压头(4-4-5)与弧形腔(4-4-1)连通，所述弧形腔(4-4-1)内远离压头(4-4-5)的一侧弹性滑动连接有压板(4-4-3)。

4.根据权利要求3所述的一种砷化镓单晶机械抛光设备，其特征在于：所述支撑机构(1)中间位置开设有加工槽(1-1)，所述加工槽(1-1)与打磨机构(2)在同一水平位置上。

5.根据权利要求4所述的一种砷化镓单晶机械抛光设备，其特征在于：所述支撑机构(1)上下两端分别对称固定安装有支撑架(1-2)，所述支撑架(1-2)端部均安装有打磨机构(2)；所述打磨机构(2)包括有电机(2-1)，所述电机(2-1)与支撑架(1-2)端部固定连接，所述电机(2-1)靠近支撑机构(1)端转动安装有转动轴(2-2)，所述转动轴(2-2)滑动连接有滑动轴(2-3)，所述滑动轴(2-3)转动连接有打磨盘(2-4)；所述转动轴(2-2)和滑动轴(2-3)间外接有压力机构，用于控制滑动轴(2-3)向打磨盘(2-4)方向的挤压力；

所述打磨机构(2)上安装有传力机构(2-5)，所述传力机构(2-5)包括有固定杆(2-5-4)，所述固定杆(2-5-4)与滑动轴(2-3)侧壁固定连接，所述固定杆(2-5-4)固定连接有弧形筒(2-5-3)，所述弧形筒(2-5-3)一端固定安装有第一管道口(2-5-5)，另一端滑动连接有弧形杆(2-5-2)，所述弧形杆(2-5-2)端部固定连接有固定块(2-5-1)，所述固定块(2-5-1)与打磨盘(2-4)固定连接；且上下两个打磨机构(2)上的传力机构(2-5)关于竖直平面对称。