[发明专利]铜箔石墨膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210159182.1 申请日: 2022-02-21
公开(公告)号: CN114434894A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 李金明 申请(专利权)人: 江西柔顺科技有限公司
主分类号: B32B9/00 分类号: B32B9/00;B32B9/04;B32B15/20;B32B37/10;B32B38/00;C23C18/16;C23C18/38;C23C18/48
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 侯柏龙
地址: 341699 江西省赣州*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种铜箔石墨膜及其制备方法,该制备方法包括步骤:(1)提供铜箔基板,且于所述铜箔基板一侧贴附干膜;(2)对所述干膜进行曝光工艺;(3)进行显影工艺,曝光部分露出所述铜箔基板,未曝光部分被所述干膜覆盖;(4)在曝光部分露出的所述铜箔基板表面沉积金属形成铜柱;(5)将所述干膜退去;(6)将半成品石墨膜与所述铜箔基板含所述铜柱一侧进行压合,得到铜箔石墨膜。该方法制得的铜箔石墨膜能够提高其厚度方向(即Z轴方向)的热传导率,且几乎不影响水平方向(即X轴和Y轴方向)的热传导率,且该铜箔石墨膜具有较好的机械性能、稳定性和承载性。
搜索关键词: 铜箔 石墨 及其 制备 方法
【主权项】:
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