[发明专利]组合薄膜制备方法及装置在审
| 申请号： | 202210155960.X | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN114703455A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 冯中沛;金魁;袁洁;许波;赵忠贤 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种组合薄膜制备方法及装置，方法包括：在靶台上安装至少一个靶材，在基片台上安装基片；采用至少一个激光束轰击所述靶材以产生沉积物；控制所述激光束在扫描路径上的扫描速率以改变所述基片不同沉积区域的沉积时间，以此控制所述靶材的对应成分在所述基片不同沉积区域上的沉积物含量，在所述基片上形成厚度沿所述基片表面任一方向变化的薄膜。本发明提供的组合薄膜制备方法，通过精确控制激光束在扫描路径上的扫描速率，可以提高组合薄膜的厚度均匀性，保证不同沉积区域化学组分精细可控，进而提高薄膜性能。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松山湖材料实验室，未经松山湖材料实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210155960.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
