[发明专利]一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置

摘要

本申请提出了一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，包括机械臂，所述机械臂的输出端设置有驱动电机，所述驱动电机的输出端设置有抛光组件，所述抛光组件包括主轴、导电导液滑环和抛光头，所述主轴的一端固定在所述驱动电机的输出端，且另一端与所述抛光头固定连接，所述导电导液滑环的转子固定在所述主轴上，所述抛光头远离所述主轴的一端开设有漏液孔；所述抛光头的下方设置有用于安装并抛光工件的抛光池，还包括导电模块和导液模块，所述导电模块用于将直流电源的正极和负极分别连接至所述工件和所述抛光头，所述导液模块用于向所述抛光头内通入电解抛光液。本申请具有能够对导电材料任意曲面工件高效、超精密抛光的效果。