[发明专利]一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置

权利要求书

1.一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，包括机械臂(1)，所述机械臂(1)的输出端设置有驱动电机(12)，所述驱动电机(12)的输出端设置有抛光组件(9)，所述抛光组件(9)包括主轴(901)、导电导液滑环(902)和抛光头(903)，所述主轴(901)的一端固定在所述驱动电机(12)的输出端，且另一端与所述抛光头(903)固定连接，所述导电导液滑环(902)的转子(9021)固定套设在所述主轴(901)上，所述抛光头(903)远离所述主轴(901)的一端开设有多个漏液孔(9031)；

所述抛光头(903)的下方设置有用于安装并抛光工件(6)的抛光池(5)，还包括导电模块和导液模块，所述导电模块用于将直流电源的正极和负极分别连接至所述工件(6)和所述抛光头(903)，所述导液模块用于向所述抛光头(903)内通入电解抛光液，以使所述电解抛光液从所述漏液孔(9031)喷向所述工件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述导电模块包括导电棒(7)、电源(3)以及连接所述电源(3)的两根电线(2)，所述导电棒(7)设置在所述抛光池(5)上且与所述工件(6)连接，两根所述电线(2)分别为正极电线和负极电线，所述正极电线连接至所述导电棒(7)，所述负极电线连接至所述导电导液滑环(902)的定子(9022)，并通过所述导电导液滑环(902)的转子(9021)和所述主轴(901)将电流导入所述抛光头(903)。

3.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述导液模块包括电解抛光液循环过滤泵(4)和两个导液管(11)，其中一个所述导液管(11)连接所述电解抛光液循环过滤泵(4)和所述导电导液滑环(902)的定子(9022)，并通过所述导电导液滑环(902)的转子(9021)和所述主轴(901)将所述电解抛光液通入所述抛光头(903)，另一个所述导液管(11)连接所述电解抛光液循环过滤泵(4)和所述抛光池(5)的出液口。

4.根据权利要求3所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述主轴(901)的下端开设有供所述电解抛光液流通的空腔(9011)，所述抛光头(903)中空设置且上端开口设置，所述抛光头(903)的上端通过抛光头固定法兰(904)插接固定在所述空腔(9011)内。

5.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述抛光池(5)上设置有真空吸附夹具(8)，所述工件(6)吸附在所述真空吸附夹具(8)上，所述导电棒(7)设置在所述真空吸附夹具(8)的一侧且一端与所述工件(6)连接。

6.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述机械臂(1)的输出端固定有电机架(13)，所述驱动电机(12)固定在所述电机架(13)上，所述主轴(901)通过联轴器(10)与所述驱动电机(12)的输出端固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述导电导液滑环(902)的定子(9022)上端通过定子固定法兰(905)固定在所述电机架(13)上，所述导电导液滑环(902)的转子(9021)下端通过转子固定法兰(906)固定在所述主轴(901)上。

8.根据权利要求4所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述抛光头(903)插接至所述空腔(9011)内的一端与所述主轴(901)之间设置有密封圈(908)。

9.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述抛光头(903)的下端设置有抛光垫(909)。

10.根据权利要求1所述的一种电解腐蚀与机械去除交替进行的电化学机械抛光装置，其特征在于，所述电解抛光液中含有磨粒。