[发明专利]一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构有效
| 申请号： | 202210131948.5 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114165602B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 尹嘉琦;李欢;辛珊;江佳飞 | 申请（专利权）人： | 新沂中大节能科技有限公司;连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/32;F16K1/36;F16K27/02;F16K31/12;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 王清伟 |
| 地址： | 221400 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂。本发明的有益效果是：该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，在现有的基础上进行改进，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 椭圆形 隔离 机构 | ||
【主权项】：
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