[发明专利]一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构

说明书

本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂。本发明的有益效果是：该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，在现有的基础上进行改进，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。

技术领域

本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。

背景技术

电子元件的生产需要使用到单晶硅材料，单晶硅材料在生产的过程中需要进行拉晶步骤，拉晶的过程中，则需要使用到隔离阀对原料的落料进行控制，保证晶体的成型效果，现有的一些单晶硅晶体生产用隔离阀机构在使用时还存在一些缺陷。

现有的阀腔为方形结构，占用炉盖上面空间较大，不利于设备整体布局，随着晶棒规格逐步增大，对阀腔的内径尺寸也越来越大，若仍采用方形腔体，其所占空间较大，设备结构变得松散，从而使设备安装所需空间变得更大，而且现有的单晶硅隔离阀在使用时，不能对装置整体进行准确定位，也不能对隔离阀进行多个支点的稳定固定，稳定性较差，也不便于后续进行对中工作。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的技术问题，提供一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，来解决上述中提到的现有的隔离阀在使用时不能对装置整体进行准确定位，而且不便于后续进行对中工作的问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂，阀臂的表面安装有阀轴锁紧环，阀轴锁紧环的上方安装有阀轴安装座，所述阀轴安装座的底端固定设置有密封法兰套，阀轴安装座的左侧连接有第一驱动气缸，第一驱动气缸的前端转动安装有升降杠杆，升降杠杆的内部设置有旋片阀轴，旋片阀轴的顶部固定安装有旋转臂，旋转臂的前端连接有第二驱动气缸，所述升降杠杆的侧面安装有杠杆支架，升降杠杆的前端连接有提升把手，第二驱动气缸的前端安装有气缸支架，所述外壳的内部活动安装有用于固定前阀体和后阀体的内接板，外壳顶部的四周固定安装有支柱。

本发明的有益效果是：

该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构效果更好，本发明中在现有的基础上进行改进，该装置阀腔外形改为类似椭圆形，在满足阀板完全打开的前提下，缩小了阀臂旋转幅度，从而减小了前后方向长度，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。

该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构效果更好，该装置在使用时能够通过装置上的第四牵引钢绳拉动周围的拉杆，使得各处激光头同时张开或收纳，提升了装置的使用效果，同时该装置在使用时还能够适应不同形状和尺寸的阀体进行稳定安装，首先通过拉动装置上的螺栓然后将螺栓安装进相应的螺孔中，从而对装置上各处支撑组件的位置以及弹力进行适应性调节工作，同时该装置还能够利用牵引组件来对板簧进行向内拉动，从而使得板簧的上下两侧能够撑紧阀体，使得该装置在使用时能够适应不同形状和尺寸的阀体进行固定，而且在固定时可以进行多个位置的稳定支撑，提升了装置的使用效果，该装置在使用时还能利用装置底部的激光头配合牵引组件实现对炉口和阀体的对中工作，保证后续的拉晶质量，提升了装置的实用性。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。