[发明专利]立式炉反应器组件、对齐环形凸缘单元的方法和用途在审
| 申请号： | 202210127715.8 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114939387A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | T.G.M.奥斯特拉肯;L.J.吉迪拉;C.G.M.德里德 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J19/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于处理衬底的立式炉反应器组件，包括：限定配置用于在其中处理衬底的处理室的反应器外壳，该处理室具有用于沿着主装载轴线将衬底移入和移出处理室的开口，该开口被环形凸缘单元堆叠包围，环形凸缘单元包括外壳凸缘、气体分隔环单元、衬里悬挂环单元、清除环单元和夹紧环单元中的至少两个，其中至少两个环形凸缘单元设置有相互配合的定心结构，用于使相应的至少两个凸缘单元相对于彼此定心，其中相互配合的定心结构包括多个槽和相应的多个销，其中每个槽沿着相应的主槽轴线延伸，其中槽轴线相对于环形凸缘单元堆叠指向中心相互交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 反应器 组件 对齐 环形 凸缘 单元 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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