[发明专利]立式炉反应器组件、对齐环形凸缘单元的方法和用途

权利要求书

1.一种用于处理衬底(4)的立式炉反应器组件(2；102)，包括限定配置用于在其中处理衬底(4)的处理室(8)的反应器外壳(6)，处理室(8)具有用于沿着主装载轴线(L)将衬底(4)移入和移出处理室(8)的开口(10)，开口(10)被环形凸缘单元(12、14、16、26；12、18、20、26)堆叠包围，环形凸缘单元包括外壳凸缘(12、26)、气体分隔环单元(14)、衬里悬挂环单元(16)、清除环单元(18)和夹紧环单元(20)中的至少两个，

其中环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)中的至少两个设置有相互配合的定心结构(22、24)，用于使相应的至少两个凸缘单元(12、14、16、18、20、26)相对于彼此定心，

其中相互配合的定心结构(22、24)包括多个槽(22)和相应的多个销(24)，其中槽(22)各自沿着相应的主槽轴线(S)延伸，其中槽轴线(S)相对于环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)堆叠指向中心相互交叉，

其中槽(22)各自配置成在基本平行于主装载轴线(L)的方向上将销(24)中的相应一个接收在其中，使得接收的销(24)可在槽(22)中沿着相应的主槽轴线(S)移动，并且在槽(22)中沿着垂直于主槽轴线(S)和主装载轴线(L)的方向基本不可移动。

2.根据权利要求1所述的反应器组件，其中，所述多个槽(22)包括至少三个槽(22)，并且相应数量的销(24)相应地包括至少三个销(24)。

3.根据权利要求1或2所述的反应器组件，其中，相应的多个槽(22)和销(24)沿着相应环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)的相应圆周基本均匀分布。

4.根据从属于权利要求2时的权利要求3所述的反应器组件，其中，所述至少三个槽(22)的每对槽(22)的相应主槽方向(S)在横向于所述主装载轴线(L)的平面中相互包括约120度的角度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的反应器组件，其中，所述销(24)各自沿着基本平行于所述主装载轴线(L)的主销方向延伸。

6.根据前述权利要求中任一项所述的反应器组件，其中，所述相互配合的定心结构(22、24)配置成在相应环形凸缘单元(12、14、16；18、20、26)之间提供运动联接和非运动联接中的至少一种。

7.根据前述权利要求中任一项所述的反应器组件，其中，所述环形凸缘单元(12、14、16、26；12、18、20、26)堆叠包括至少三个，优选至少四个环形凸缘单元(12、14、16、26；12、18、20、26)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的反应器组件，还包括多个调平销(24a)，其配置成调节所述环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)中的相应环形凸缘单元的相互调平。

9.根据前述权利要求中任一项所述的反应器组件，其中，所述环形凸缘单元(12、14、16；18、20、26)的接合圆周形状是圆形形状，其中心位于所述主装载轴线(L)处。

10.一种在堆叠中相对于彼此对齐立式炉反应器组件(2；102)的环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)的方法，包括：

-提供根据前述权利要求中任一项所述的立式炉反应器组件(2)；以及

-使多个销(24)中的销(24)插入多个槽(22)中的相应槽(22)中，从而使至少两个环形凸缘单元(12、14、16、18、20、26)相对于彼此定心。

11.根据权利要求1-9中任一项所述的立式炉反应器组件(2；102)在其中处理衬底(4)的用途。