[发明专利]加热器在审
| 申请号： | 202210127467.7 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114164416A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 胡晓海 | 申请（专利权）人： | 北京中科重仪半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/30;H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100192 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加热器。根据本发明实施例的加热器包括托盘，用于承载衬底；转轴，设置在所述托盘的下方，并与所述托盘相连接，用于所述托盘的转动；第一加热装置，环绕所述转轴设置，并与所述转轴间隔，用于所述衬底中心区域的加热；以及第二加热装置，位于所述托盘的下方，且位于所述第一加热装置的上方，用于所述衬底周边区域的加热，其中，所述托盘上划分有衬底中心区域和衬底周边区域；所述衬底中心区域位于所述转轴的正上方，所述衬底周边区域环绕所述衬底中心区域。根据本发明实施例的加热器，能够改善加热的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
