[发明专利]加热器

权利要求书

1.一种加热器，其特征在于，包括：

托盘，用于承载衬底；

转轴，设置在所述托盘的下方，并与所述托盘相连接，用于所述托盘的转动；

第一加热装置，环绕所述转轴设置，并与所述转轴间隔，用于所述衬底中心区域的加热；以及

第二加热装置，位于所述托盘的下方，且位于所述第一加热装置的上方，用于所述衬底周边区域的加热，

其中，所述托盘上划分有衬底中心区域和衬底周边区域；所述衬底中心区域位于所述转轴的正上方，所述衬底周边区域环绕所述衬底中心区域。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述第一加热装置包括第一电极和第二电极；

所述第二加热装置包括第三电极和第四电极；

其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极呈正交方式排列。

3.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述第一加热装置为圆筒状；

所述第一加热装置环绕所述转轴设置，且沿所述转轴的轴线方向延伸。

4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：

控制装置，与所述第一加热装置和/或所述第二加热装置相连接，以控制所述第一加热装置和/或所述第二加热装置的加热温度。

5.根据权利要求4所述的加热器，其特征在于，所述控制装置包括：

温度检测单元，检测所述衬底处的衬底温度，

其中，所述控制装置根据所述衬底温度调节所述加热温度。

6.根据权利要求4所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：

电机，与所述转轴相连接以驱动所述托盘转动，

其中，所述控制装置与所述电机相连接以控制所述电机的转速。

7.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述托盘包括石墨托盘；和/或

所述转轴包括钼旋转轴；和/或

所述第一加热装置包括圆筒状石墨加热丝，所述圆筒状石墨加热丝表面设置有碳化硅涂层的石墨；和/或

所述第一加热装置包括圆筒状石墨加热丝，所述圆筒状石墨加热丝加载直流电；和/或

所述第二加热装置包括石墨加热盘，所述石墨加热盘表面设置有碳化硅涂层的石墨；和/或

所述第二加热装置包括石墨加热盘，所述石墨加热盘加载直流电；和/或

所述托盘表面设置有碳化硅和/或碳化钽涂层的石墨；和/或

所述转轴的材料为钼或3039号耐热钢；和/或

所述加热器还包括与所述第一加热装置相连接的电极，所述电极的材料为钼或3039号耐热钢；和/或

所述加热器还包括与所述第二加热装置相连接的电极，所述电极的材料为钼或3039号耐热钢。

8.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述第二加热装置包括：

石墨加热盘，位于所述托盘的正下方，所述石墨加热盘呈正方形，

其中，所述石墨加热盘上设置有两个电极固定孔位，所述电极固定孔位设置在所述石墨加热盘的对角线上。

9.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括：

反射屏，围绕所述第一加热装置和/或所述第二加热装置设置，用于保温。

10.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述转轴的顶端设置有托盘支撑板；

所述托盘上设置有与所述托盘支撑板相匹配的凹槽；

所述托盘支撑板和所述凹槽用于所述托盘和所述转轴的固定连接。