[发明专利]体声波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置在审
| 申请号： | 202210109342.1 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114421916A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 韩兴;周建;李军涛;邹雅丽 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54;H04B1/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞;徐文欣 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种体声波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置，涉及半导体技术领域，其中形成方法包括：形成压电层，压电层包括第一侧和第二侧；形成第一电极层，位于第一侧；形成第一层，位于第一侧，第一电极层位于第一层与压电层之间；形成第二电极层，位于第二侧；形成至少一个边缘结构，位于第一电极层和第二电极层的重合部水平方向上的边缘，至少一个边缘结构关于压电层在垂直方向上呈非对称结构；形成空腔，位于第一侧，空腔位于第一层与压电层之间，嵌入第一层，压电层覆盖空腔，第一电极层的至少一端位于空腔内。至少一个边缘结构所在的边缘部的声阻抗与至少一个边缘结构之间的中间部的声阻抗不匹配，可以阻隔横向模态下的漏波，提高Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州承芯半导体有限公司，未经常州承芯半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210109342.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
