[发明专利]体声波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置在审
申请号: | 202210109342.1 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN114421916A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 韩兴;周建;李军涛;邹雅丽 | 申请(专利权)人: | 常州承芯半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54;H04B1/40 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张瑞;徐文欣 |
地址: | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 声波 谐振 装置 形成 方法 滤波 射频 前端 | ||
1.一种体声波谐振装置,其特征在于,包括:
第一层,所述第一层包括空腔;
第一电极层,所述第一电极层的至少一端位于所述空腔内;
压电层,位于所述第一电极层上,覆盖所述空腔,所述压电层包括第一侧及与所述第一侧垂直方向上相对的第二侧,所述第一电极层位于所述第一侧;
第二电极层,位于所述第二侧,位于所述压电层上;以及
至少一个边缘结构,位于所述第一电极层和所述第二电极层的重合部水平方向上的边缘,至少一个所述边缘结构关于所述压电层在垂直方向上呈非对称结构。
2.如权利要求1所述的体声波谐振装置,其特征在于,至少一个所述边缘结构包括第一边缘结构,位于所述第二侧,位于所述第二电极层上,其中,所述第一边缘结构包括第一围边部及第一延伸部,所述第一围边部位于所述第二电极层上与所述第一电极层重合部水平方向上的边缘上,所述第一延伸部与所述第一围边部连接,位于所述第二电极层上与所述第一电极层重合部水平方向上外侧,所述第一延伸部与所述第一电极层无重合部,用于降低电传输中的电阻率。
3.如权利要求2所述的体声波谐振装置,其特征在于,所述第一围边部呈环状。
4.如权利要求1所述的体声波谐振装置,其特征在于,至少一个所述边缘结构包括第二边缘结构,所述第一电极层位于所述第二边缘结构上,其中,所述第二边缘结构包括第二围边部及第二延伸部,所述第二围边部位于所述空腔内,位于所述第一电极层上与所述第二电极层重合部水平方向上的边缘,所述第二延伸部与所述第二围边部连接,位于所述第一电极层上与所述第二电极层重合部水平方向上外侧,所述第二延伸部与所述第二电极层无重合部,用于降低电传输中的电阻率。
5.如权利要求4所述的体声波谐振装置,其特征在于,所述第二围边部呈环状。
6.如权利要求1所述的体声波谐振装置,其特征在于,至少一个所述边缘结构包括第三边缘结构,位于所述第二侧,位于所述第二电极层上,其中,所述第三边缘结构包括第三围边部,所述第三围边部位于所述第二电极层上与所述第一电极层重合部水平方向上的部分边缘上。
7.如权利要求6所述的体声波谐振装置,其特征在于,至少一个所述边缘结构还包括第四边缘结构,所述第一电极层位于所述第四边缘结构上,其中,所述第四边缘结构包括第四围边部,所述第四围边部位于所述空腔内,位于所述第一电极层上与所述第二电极层重合部水平方向上的部分边缘。
8.如权利要求7所述的体声波谐振装置,其特征在于,所述第三围边部和所述第四围边部位于所述压电层两侧,在垂直方向上呈非对称结构,所述第三围边部和所述第四围边部部分重合,形成环状围边。
9.如权利要求1所述的体声波谐振装置,其特征在于,至少一个所述边缘结构包括第五边缘结构,位于所述第二侧,位于所述压电层上,所述第五边缘结构包括第五围边部及第五延伸部,所述第五围边部垂直方向上与所述第一电极层具有重合部,所述第二电极层位于所述第五围边部与所述第一电极层的重合部水平方向上的内侧,所述第二电极层上与所述第一电极层的重合部即所述第二电极层,所述第五延伸部与所述第五围边部连接,位于所述第五围边部与所述第一电极层的重合部水平方向上的外侧,所述第五延伸部与所述第一电极层无重合部,用于降低电传输中的电阻率。
10.如权利要求9所述的体声波谐振装置,其特征在于,所述第五围边部呈环状。
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