[发明专利]一种用于校准外延炉的温度计的方法在审
| 申请号： | 202210107312.7 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114397022A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 牛景豪;曹岩;席勇 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/90;C30B33/08 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 侯丽丽;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于校准外延炉的温度计的方法，所述方法包括：向外延炉内通入HCl气体以对所述外延炉内的第一测试硅片进行气相刻蚀；监测所述外延炉内的温度以作为基准温度并监测所述第一测试硅片的刻蚀量以作为基准刻蚀量；拟合所述基准温度与所述基准刻蚀量之间的线性关系；利用所述基准温度与所述基准刻蚀量之间的所述线性关系校准所述外延炉的温度计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 校准 外延 温度计 方法 | ||
【主权项】：
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