[发明专利]一种用于金属极板的类金刚石复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202210104816.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114447354B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 朱锋 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | H01M8/0213 | 分类号： | H01M8/0213;C23C16/26;C23C16/448;C23C16/507;H01M8/0228 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种类金刚石复合涂层及其制备方法，类金刚石复合涂层特征在于，所述类金刚石复合涂层包含：在所述金属极板上形成的第一层和第二层，其中所述第一层为未掺杂的类金刚石层，所述第二层是掺杂的类金刚石层；在所述金属极板与所述第一层之间的过渡层；和在所述第一层和所述第二层之间的梯度层；其中，所述过渡层使用包含有机硅氧化合物和含碳氢源的材料以薄膜沉积的方式制备，并且所述有机硅氧化合物的浓度从所述金属极板至所述第一层的方向上逐渐减小；其中，所述梯度层包含掺杂离子，所述掺杂离子的浓度在从所述第一层至所述第二层的方向上逐渐增加直至与所述第二层中掺杂离子的浓度相同。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 极板 金刚石 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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