[发明专利]一种砷化镓晶圆合成加热装置在审
| 申请号： | 202210087791.0 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114411239A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 袁永 | 申请（专利权）人： | 苏州诺富微电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了砷化镓合成加热装置技术领域的一种砷化镓晶圆合成加热装置，包括固定底座，所述固定底座顶部固定连接有加热室，所述加热室内侧壁上固定连接有两个隔温板；本发明通过在每次对砷化镓进行加热制备过程中，先利用涡旋加热管对生长管进行圆周型快速加热，降低对材料的加热时间，提高生产的效率，并且利用驱动装置和提升装置使生长管在下降过程中，配合涡旋滑轨和第一滑杆，使生长管转动，使材料能进行混合，有利于生长管内的材料能被快速加热，并利用分隔板和开合机构，使加热室内形成阶梯型较为准确的温度腔室，有利于生长管内的材料进行稳定的结晶，避免由于温度不确定使得在结晶过程中出现较多杂质的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓晶圆 合成 加热 装置 | ||
【主权项】：
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