[发明专利]一种砷化镓晶圆合成加热装置

权利要求书

1.一种砷化镓晶圆合成加热装置，包括固定底座(1)，其特征在于：所述固定底座(1)顶部固定连接有加热室(2)，所述加热室(2)内侧壁上固定连接有两个隔温板(3)，两个所述隔温板(3)内侧壁上共同通过第一连接块(4)固定连接有涡旋加热管(5)，所述涡旋加热管(5)内侧壁上固定连接有涡旋滑轨(6)，所述加热室(2)顶部设有提升机构，所述提升机构底端连接有生长管(7)，所述生长管(7)外表面上固定连接有若干第一滑杆(8)，若干所述第一滑杆(8)均滑动连接在涡旋滑轨(6)内，所述隔温板(3)内侧壁上连接有用于驱动生长管(7)向下移动的驱动机构，两个所述隔温板(3)内侧壁上共同固定连接有分隔板(9)，所述分隔板(9)内部连接有开合机构，所述开合机构用于在生长管(7)将要通过分隔板(9)时打开，所述加热室(2)内侧壁上固定连接有两组加热丝(10)，两组所述加热丝(10)分别位于两个隔温板(3)的内侧，所述加热室(2)的前侧壁上连接有取料阀门(11)，所述加热室(2)顶部开设有加料阀(12)，所述加料阀(12)位于生长管(7)的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆合成加热装置，其特征在于：所述提升机构包括提升电机(13)，所述提升电机(13)固定连接在加热室(2)的顶部，所述提升电机(13)的输出端固定连接有收卷筒(14)，所述收卷筒(14)转动连接在加热室(2)的顶部，所述收卷筒(14)外表面上收卷有提升钢丝(15)，所述加热室(2)顶部转动连接有导向轮(16)，所述提升钢丝(15)底端绕过导向轮(16)并与生长管(7)顶部缠绕固定。

3.根据权利要求2所述的一种砷化镓晶圆合成加热装置，其特征在于：所述驱动机构包括外转动环(17)，所述外转动环(17)转动连接在两个隔温板(3)内侧壁上，所述外转动环(17)内侧壁上通过四个第二连接块(18)固定连接有内转动环(19)，所述内转动环(19)直径大于生长管(7)，所述内转动环(19)顶部转动连接有升降丝杆(20)，所述升降丝杆(20)顶端固定连接有第一电机(21)，所述第一电机(21)顶部固定连接有第二滑杆(22)，所述加热室(2)内部顶面开设有供第二滑杆(22)滑动的圆形滑槽(23)，所述升降丝杆(20)外表面上螺纹连接有升降板(24)，所述升降板(24)底部与生长管(7)的顶端接触，所述隔温板(3)内侧壁上连接有用于使外转动环(17)转动的转动机构。

4.根据权利要求3所述的一种砷化镓晶圆合成加热装置，其特征在于：所述转动机构包括第一固定板(25)，所述第一固定板(25)顶部固定连接有第二电机(26)，所述第二电机(26)的输出轴外表面上固定连接有第一齿轮(27)，所述外转动环(17)顶部固定连接有外齿环(28)，所述第一齿轮(27)与外齿环(28)相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆合成加热装置，其特征在于：所述开合机构包括通孔(29)，所述通孔(29)开设在分隔板(9)中部用于供生长管(7)和第一滑杆(8)通过，所述分隔板(9)底部转动连接有两个第一转杆(30)，两个所述第一转杆(30)外表面上均固定连接有L型固定块(31)，两个所述L型固定块(31)顶端均固定连接有扇形密封板(32)，两个所述扇形密封板(32)将通孔(29)密封，两个所述第一转杆(30)外表面上均固定连接有第二齿轮(33)，所述分隔板(9)内部贯穿有与其滑动连接的第一齿条(34)，两个所述第一齿条(34)分别与两个第二齿轮(33)相啮合，两个所述第一齿条(34)顶端均固定连接有压盘(35)，所述第一齿条(34)外侧设有位于压盘(35)合分隔板(9)之间的第一弹簧(36)，所述生长管(7)外表面上固定连接有两个拨动长条(37)，两个所述拨动长条(37)分别与两个压盘(35)顶部接触。

6.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆合成加热装置，其特征在于：两个所述隔温板(3)内部均开设有若干放热孔(38)，每个所述放热孔(38)内部均滑动连接有密封塞(39)，同侧若干所述密封塞(39)外端共同固定连接有滑动架(40)，两个所述滑动架(40)外侧壁上均固定连接有第二齿条(41)，两个隔温板(3)外侧壁上均固定连接有第二连接板(42)，两个所述第二连接板(42)前侧壁上均转动连接有第三齿轮(43)，所述第二连接板(42)与滑动架(40)相接触，所述加热室(2)外侧壁上固定连接有两个伸缩气缸(44)，两个所述伸缩气缸(44)内端均插入加热室(2)内并与其滑动连接，两个所述伸缩气缸(44)的内端均固定连接有固定架(45)，两个所述固定架(45)内侧壁上固定连接有环流管(46)，所述环流管(46)外端均贯穿加热室(2)，所述固定架(45)内侧壁上固定连接有第三齿条(47)，所述第三齿条(47)与第三齿轮(43)啮合。