[发明专利]一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉在审
| 申请号： | 202210063968.3 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114411264A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李辉;毛瑞川;毛洪英;丁柏松;苏闻峰 | 申请（专利权）人： | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布，从而调整温度场的分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 碳化硅 长晶炉 感应 加热 系统 | ||
【主权项】：
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