[发明专利]一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉

权利要求书

1.一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座；其特征在于，所述底座包括固定座及围绕固定座的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；

所述旋转固定座包括进水冷导电环内环及固定于进水冷导电环内环上的出水冷导电环内环；旋转支座包括进水冷导电环外环及固定于进水冷导电环外环上的出水冷导电环外环；所述进水冷导电环内环与进水冷导电环外环的连接处设有进水冷却水路；出水冷导电内环与出水冷导电环外环的连接处设有出水冷却水路；进水冷导电内环下方设有第一下进水冷电缆接头、出水冷导电内环下方设有第二下进水冷电缆接头；出水冷导电环外环侧面设有第一上进水冷电缆接头；进水冷导电环外环侧面设有第二上进水冷电缆接头；进水冷却水路、出水冷却水路通过第一下进水冷电缆接头、第二下进水冷电缆接头、第一上进水冷电缆接头、第二上进水冷电缆接头连接形成冷却水通路；

还包括驱动旋转支座转动的驱动装置；所述驱动装置包括电机及安装在电机输出轴上的齿轮，所述旋转支座为圆盘形结构，且旋转支座的周向设置一圈与齿轮啮合的齿轮盘，齿轮转动带动旋转支座转动。

2.根据权利要求1所述的旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于，所述出水冷导电环外环上表面向内延伸有上台阶环，进水冷导电环外环底表面向内延伸有下台阶环；所述固定支座的顶面抵靠于上台阶环；固定支座的底面抵靠于下台阶环；固定支座与上台阶环及下台阶环之间采用面接触，表面经过处理后形成滑动轴承结构，同时通过面接触形成导电通路。

3.根据权利要求1或2所述的旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于，第一上进水冷电缆接头和第二上进水冷电缆接头通过金属软管连接。

4.根据权利要求2所述的旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于，第一下进水冷电缆接头、第二下进水冷电缆接头、第一上进水冷电缆接头、第二上进水冷电缆接头将电源端的电流和冷却水输送到进水冷导电环和出水冷导电环，同时将冷却水和电流传输至感应线圈。

5.一种长晶炉，其特征在于，具有如权利要求1至4中任一项所述的旋转碳化硅长晶炉感应加热系统。