[发明专利]MEMS器件的微机械薄膜结构在审
| 申请号： | 202210061112.2 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114477068A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;张玉龙 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS器件的微机械薄膜结构，微机械薄膜结构包括：衬底；锚点座，锚点座设在衬底上；薄膜件，薄膜件连接锚点座，薄膜件具有远离锚点座的设定方向和沿设定方向依次设置的多个有效宽度，有效宽度为薄膜件在垂直于设定方向的剖切面上的截面宽度或截面宽度之和，多个有效宽度沿设定方向逐渐减小。本发明通过使薄膜件的有效宽度沿设定方向逐渐减小，使薄膜件上的应力均匀分布，消除应力集中点，从而减弱疲劳、蠕变、塑性形变等现象，提高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 微机 薄膜 结构 | ||
【主权项】：
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