[发明专利]MEMS器件的微机械薄膜结构

权利要求书

1.一种MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，包括：

衬底；

锚点座，所述锚点座设在所述衬底上；

薄膜件，所述薄膜件连接所述锚点座，所述薄膜件具有远离所述锚点座的设定方向和沿所述设定方向依次设置的多个有效宽度，所述有效宽度为所述薄膜件在垂直于所述设定方向的剖切面上的截面宽度或截面宽度之和，多个所述有效宽度沿所述设定方向逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述薄膜件上设有孔部，所述剖切面经过所述孔部以使所述薄膜件上形成有至少两个截面，所述有效宽度为至少两个所述截面的宽度之和。

3.根据权利要求2所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述孔部包括多个孔单元，多个所述孔单元沿所述设定方向间隔开设置。

4.根据权利要求3所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，每个所述孔单元包括至少一个通孔，多个所述孔单元的所述通孔的分布服从康托集。

5.根据权利要求3所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，沿所述设定方向设置的多个所述孔单元的宽度逐渐增大。

6.根据权利要求5所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，多个所述孔单元的宽度服从数列序列，所述数列序列的数列为等比数列、等差数列、差比数列以及幂数列中的任一种。

7.根据权利要求2所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述孔部沿所述设定方向延伸，且所述孔部的宽度沿所述设定方向逐渐增大。

8.根据权利要求7所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述孔部的位于所述设定方向两侧的孔壁为弧形过渡或台阶过渡。

9.根据权利要求1所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述薄膜件被构造为所述薄膜件的宽度沿所述设定方向逐渐减小。

10.根据权利要求9所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述薄膜件的位于所述设定方向两侧的端部为弧形过渡或台阶过渡。

11.根据权利要求1所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述薄膜件包括质量件和至少两个梁体件，每个所述梁体件的一端连接所述锚点座且另一端连接所述质量件，每个所述梁体件的宽度沿所述设定方向逐渐减小。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述薄膜件被构造为梁体或薄膜。

13.根据权利要求12所述的MEMS器件的微机械薄膜结构，其特征在于，所述梁体为单端固支梁或双端固支梁，其中，所述梁体为双端固支梁时，所述设定方向包括方向相反的第一方向和第二方向，多个所述有效宽度包括两组，两组所述有效宽度中一组沿所述第一方向设置，另一组沿所述第二方向设置。