[发明专利]一种纳米晶体钼合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210056516.2 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114351095A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 杨璐;魏世忠;王晓东;赵阳;王喜然;张玢;梁栋 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/22;B22F1/054;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/24;B22F5/00;C22F1/18;C22C27/04;C22C32/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 | 代理人： | 刘亚莉 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纳米晶体钼合金靶材及其制备方法，所述的钼合金靶材包括钼基和少量的二次相掺杂物，二次相掺杂物至少包括氧化铝、氧化锆、氧化镧中的一种，且二次相掺杂物的添加量不大于10％。本发明通过水热法制备原始纳米粉体，通过等静压低温快速烧结制得晶粒细小的高致密坯料，进一步通过超声表面滚压技术有效去除靶材表面残余的加工痕迹，降低材料表面的粗糙度。本发明制备的纳米晶体钼合金靶材不仅其基体晶粒尺寸较小，界面密度高，而且表面具有超细晶组织，兼具更高的显微硬度、更低的表面粗糙度以及良好的耐磨性能，可满足高要求溅射镀膜的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 晶体 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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