[发明专利]一种PVD设备镀铜膜工艺在审
| 申请号： | 202210050445.5 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114427080A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 雷杨 | 申请（专利权）人： | 广州华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/18;C23C14/02;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PVD设备镀铜膜工艺，在本发明的PVD设备镀铜膜工艺设计下，第一镀铜成膜腔和第二镀铜成膜腔均设置有可切换轨道，日常使用第二镀铜成膜腔生产，待第二镀铜成膜腔内的铜靶材使用完后，切换第一镀铜成膜腔生产，第二镀铜成膜腔开腔更换靶材，整机不停线，待24小时后第二镀铜成膜腔安装好靶材后，再由第一镀铜成膜腔切换为第二镀铜成膜腔生产，整机运行时间延长，整个设备维护率由5.13％将至3.22％，降低设备维护率，提升设备生产产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 设备 镀铜 工艺 | ||
【主权项】：
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