[发明专利]分栅快闪存储单元及其制备方法在审
| 申请号： | 202210039247.9 | 申请日： | 2022-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN114388630A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王旭峰;于涛;李冰寒 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/788 | 分类号： | H01L29/788;H01L21/336;H01L29/423 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分栅快闪存储单元及其制备方法，包括：衬底；第一分栅结构和第二分栅结构，均包括浮栅、控制栅及字线栅，其中所述浮栅和所述控制栅依次堆叠于所述衬底上，所述字线栅位于所述浮栅和所述控制栅外侧的所述衬底上，且所述字线栅与所述控制栅的至少部分侧面接触以与所述控制栅电性连接，所述字线栅与所述浮栅之间通过介质绝缘；擦除栅，位于所述第一分栅结构和所述第二分栅结构之间；本发明利于分栅快闪存储单元的尺寸缩减。 | ||
| 搜索关键词： | 分栅快 闪存 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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