[发明专利]一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪有效
| 申请号： | 202210034539.3 | 申请日： | 2022-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN114371128B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王磊 | 申请（专利权）人： | 挚感（苏州）光子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/27 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 王巍巍 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，包括平板波导芯片、光源、动镜、定镜和光电探测器；平板波导芯片至少包括两层芯层和包层，且其中一层芯层至少具有两种不同的厚度，且其中一种厚度与其余芯层的厚度一致；在具有不同厚度的芯层的两端分别设置有第一反射体和第二反射体；光源射出的光束会聚到其中一层芯层中，动镜用于将从该芯层中射出的光束原路反射回来；定镜设置于第一反射体的上方，并接收从第一反射体反射的光束；光电探测器设置于第二反射体的上方，并接收从第二反射体反射的光束形成电流信号。本发明解决了现有单模波导光谱仪无法使用钨灯等热辐射光源的核心问题，为片上光谱仪不具备工程可行性扫清了障碍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多层 平板 波导 结构 傅里叶变换 光谱仪 | ||
【主权项】：
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