[发明专利]一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪

权利要求书

1.一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，包括平板波导芯片(1)、光源(2)、动镜(3)、定镜(4)和光电探测器(5)；所述的平板波导芯片(1)至少包括两层芯层和设置于所述芯层之间的包层，且其中一层所述的芯层至少具有两种不同的厚度，且其中一种厚度与其余所述芯层的厚度一致；在具有不同厚度的芯层的两端分别设置有第一反射体(6)和第二反射体(7)；所述光源(2)射出的光束会聚到其中一层所述的芯层中，且所述的动镜(3)用于将从该芯层中射出的光束原路反射回来；所述的定镜(4)设置于所述第一反射体(6)的上方，并接收从所述第一反射体(6)反射的光束；所述的光电探测器(5)设置于所述第二反射体(7)的上方，并接收从所述第二反射体(7)反射的光束形成电流信号；

所述的平板波导芯片(1)包括第一芯层(1-1)、第二芯层(1-2)以及设置于所述第一芯层(1-1)和所述第二芯层(1-2)之间的包层(1-3)；所述的第二芯层(1-2)设置于所述第一芯层(1-1)的上方；所述的第二芯层(1-2)具有两种不同的厚度，分别为第一厚度L₁和第二厚度L₂，且第一厚度L₁和第二厚度L₂呈相间设置；所述第二芯层(1-2)中的第一厚度L₁与所述第一芯层(1-1)的厚度一致。

2.根据权利要求1所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，还包括光源透镜组(2-1)；所述光源(2)射出的光束经所述光源透镜组(2-1)会聚到所述第一芯层(1-1)中。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，还包括动镜透镜组(3-1)；所述的动镜透镜组(3-1)沿光束的传播方向设置于所述动镜(3)和所述第一芯层(1-1)之间。

4.根据权利要求1所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，所述的第一反射体(6)和所述第二反射体(7)呈倾斜设置于所述平板波导芯片(1)上，且分别位于所述第二芯层(1-2)的两端。

5.根据权利要求4所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，所述的第一反射体(6)和所述第二反射体(7)与所述第二芯层(1-2)之间的夹角α设置为45°。

6.根据权利要求4所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，所述的第一反射体(6)和所述第二反射体(7)通过在所述平板波导芯片(1)的两端镀高反射膜形成。

7.根据权利要求1所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，还包括定镜透镜组(4-1)；所述的定镜透镜组(4-1)沿光束的反射方向设置于所述定镜(4)和所述第一反射体(6)之间。

8.根据权利要求1所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，还包括探测器透镜组(5-1)；所述的探测器透镜组(5-1)沿光束的反射方向设置于所述光电探测器(5) 和所述第二反射体(7)之间。

9.根据权利要求2、3或7所述的一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，光源透镜组(2-1)、动镜透镜组(3-1)、定镜透镜组(4-1)可以选用透镜、柱透镜或其组合。