[发明专利]空气中分子污染物的检测方法及铜互连结构的形成方法有效
| 申请号： | 202210012673.3 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114062396B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张志敏;陈献龙 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;G01N23/20;G01N23/2273;C25D21/00;C25D5/34 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种洁净室空气中分子污染物的检测方法，包括：提供至少一检测基板，检测基板的表面形成有灵敏层，灵敏层包括金属铜层；将检测基板放置于洁净室中预设时间，并获取检测基板的缺陷数据，缺陷数据为洁净室的空气中分子污染物于灵敏层中形成的缺陷的数据；以及，比较检测基板的缺陷数据是否小于洁净室的预设缺陷数值，若是，则洁净室的空气中分子污染物浓度正常。本发明中，利用空气中分子污染物与灵敏层形成缺陷，再获取检测基板的缺陷数据，并将该缺陷数据与预设缺陷数值相比较，若检测基板的缺陷数据小于预设缺陷数值则判定洁净室空气中分子污染物浓度正常，从而实现了方便且及时地检测洁净室空气中分子污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 分子 污染物 检测 方法 互连 结构 形成 | ||
【主权项】：
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