[发明专利]光学系统主光轴的调试方法在审
| 申请号： | 202210000823.9 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114397762A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 苏佳妮;齐月静;卢增雄;李璟;高斌;马敬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李世阳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 主光轴 调试 方法 | ||
【主权项】：
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