[发明专利]光学系统主光轴的调试方法在审

专利信息
申请号: 202210000823.9 申请日: 2022-01-04
公开(公告)号: CN114397762A 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 苏佳妮;齐月静;卢增雄;李璟;高斌;马敬 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B27/62 分类号: G02B27/62;G01M11/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李世阳
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 光学系统 主光轴 调试 方法
【权利要求书】:

1.一种光学系统主光轴的调试方法,用于不包含测试板的光学系统,其特征在于,包括:

S11,使用辅助小孔辅助调节自准直仪(200)出射光束的方向并使之与光学平台(001)平行;

S12,调节第一转向光学元件(301),使其出射光束的方向与所述自准直仪(200)出射光束的方向垂直;

S13,调节第二转向光学元件(302),使其出射光束的方向与所述第一转向光学元件(301)出射光束的方向垂直且与所述光学平台(001)平行;

S14,安装待测光学系统(100)的外壳(102)至所述第一转向光学元件(301)和所述第二转向光学元件(302)之间,安装第一反射元件(501)至主光轴(101)靠近所述第二转向光学元件(302)的一端;

S15,调节所述外壳(102)两侧的调节机构(103)、(104),直至经所述第一反射元件(501)反射的光斑与所述自准直仪(200)出射的光斑重合,确定所述待测光学系统(100)的主光轴(101)的位置。

2.根据权利要求1所述的光学系统主光轴的调试方法,其特征在于,还包括:

S16,安装所述待测光学系统(100)内部的光学部件,根据所述自准直仪(200)测量得到的偏差,调节所述光学部件的位置,使得所述偏差小于预设阈值,主光轴(101)调试完成。

3.根据权利要求1所述的光学系统主光轴的调试方法,其特征在于,所述S11包括:

使用第一辅助小孔(401)、第二辅助小孔(402)、第三辅助小孔(403)辅助调节所述自准直仪(200)出射光束的方向并使之与光学平台(001)平行;其中,所述第一辅助小孔(401)设置于所述自准直仪(200)的光束出口处,所述第二辅助小孔(402)、所述第三辅助小孔(403)与所述自准直仪(200)的光轴等高。

4.根据权利要求3所述的光学系统主光轴的调试方法,其特征在于,所述S12包括:

安装所述第一转向光学元件(301)至标称位置处,至少部分光经过所述第一转向光学元件(301)的入射直角面反射回到所述自准直仪(200);

调节所述第一转向光学元件(301),使其反射回到所述自准直仪(200)的光斑与所述自准直仪(200)出射的光斑重合,则所述第一转向光学元件(301)出射光束的方向与所述自准直仪(200)出射光束的方向垂直。

5.根据权利要求4所述的光学系统主光轴的调试方法,其特征在于,所述S13包括:

安装所述第二转向光学元件(302)至所述第一转向光学元件(301)的上方,改变所述第二辅助小孔(402)和所述第三辅助小孔(403)的位置,使用第一辅助小孔(401)、第二辅助小孔(402)、第三辅助小孔(403)辅助调节所述第二转向光学元件(302)出射光束的方向并使之与光学平台(001)平行;

其中,第一辅助小孔(401)设置于所述自准直仪(200)的光束出口处,所述第二辅助小孔(402)、所述第三辅助小孔(403)与所述第二转向光学元件(302)的光轴等高。

6.根据权利要求5所述的光学系统主光轴的调试方法,其特征在于,所述第一辅助小孔(401)、第二辅助小孔(402)、第三辅助小孔(403)为毫米级机械小孔;所述第一转向光学元件(301)、第二转向光学元件(302)为平面反射镜、直角棱镜、五角棱镜中的一种;所述第一反射元件(501)为平面反射镜、平晶、分划板中的一种。

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