[发明专利]具有一体式转向流动路径的喷头

摘要

一种用于处理室的喷头包括：主体，其具有限定充气室的上表面、下表面和侧表面；以及多个贯穿孔，其被提供在所述主体的所述下表面上。所述多个贯穿孔与所述充气室和所述处理室流体连通。所述喷头包括：输入口，其被提供在所述主体的所述上表面和所述侧表面中的一者上；以及第一通道，其被提供在所述主体中。所述第一通道将所述输入口连接至所述充气室。所述喷头包括：输出口，其被提供在所述主体的所述上表面和所述侧表面中的一者上；以及第二通道，其被提供在所述主体中。所述第二通道将所述输出口连接至所述充气室。